外周刃式

ASM420M

本機は、フェライト・ガラス・セラミックス等の脆性材料の量産加工用として特に開発した外周式スライサーです。
高剛性の本体構造および高馬力の主軸モータの採用により、マルチダイヤモンドホィールによる切断・溝入れ加工において負荷容量の高い加工が可能です。
主軸の軸受には高精度・高剛性のアンギュラコンタクトベアリングを使用し、パーマネントグリスを密封していますのでメンテナンスフリー、低ランニングコストが得られます。
テーブル左右送りは精密に仕上げられたＶ－Ｆ形すべり案内面とボールネジ駆動により、安定した精度とともに滑らかな運動が得られます。
前後割出装置・上下サーボ駆動・操作盤タッチパネル式に変更、またNC機への対応など、お客様のご要望に柔軟に対応いたします。

内周刃式

ASM75A/ASM100A/ASM200B

本機は、内周式ダイヤモンドホイールを使用し、シリコン等の半導体材料及びフェライト、ガラス等の脆性材料を一定の厚さに切断する機械です。
主軸は、精密アンギュラコンタクトベアリングを使用し、弊社独特の組み合わせとグリース潤滑により、高精度・高剛性・長寿命を保持します。
ワークの取付け・取り外しは簡単にでき、割り出しはACサーボモータとボールネジによって駆動され、高精度の割り出しが可能です。
チャックボディーは、表面を特殊熱処理することにより、Hv1000以上の硬度としていますので、ウエハーの飛散等による表面の荒れがなく動バランスの改善、長寿命が可能です。